日本thermocera陶瓷頂加熱器
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產(chǎn)品名稱:
日本thermocera陶瓷頂加熱器
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日本thermocera價格
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其它品牌
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簡單介紹
日本thermocera陶瓷頂加熱器醉高1800℃支持超高溫和超高真空支持所有定制要求電熱絲：NiCr，石墨，SiC / PBN涂層，PG涂層和其他10種材料可供選擇
日本thermocera陶瓷頂加熱器 的詳細介紹
日本thermocera陶瓷頂加熱器醉高1800℃
總覽
陶瓷頂部加熱器可廣泛用于真空，惰性氣體和其他各種工藝氣體中的薄膜研發(fā)應(yīng)用，以及各種真空膜沉積設(shè)備應(yīng)用。頂板由氮化鋁制成，氮化鋁在高溫下具有出色的導熱性，并且具有很高的電絕緣性（也可提供Inc600，石英，Mo，W，BN板等）?？梢愿鶕?jù)使用條件來選擇加熱器元件，例如金屬線例如NiCr，Inc，Mo，W，碳加熱器例如石墨和CCC，以及涂層加熱器例如PG / SiC / PBN涂層。它不僅用于研發(fā)，而且在半導體制造設(shè)備和各種真空設(shè)備（超高真空設(shè)備，例如PVD，CVD，MBE等）中的高溫熱板和基板加熱階段方面也取得了許多成就。
*日本thermocera陶瓷頂加熱器陶瓷頂部加熱器是定制產(chǎn)品。要求估算時，請告知我們所需的規(guī)格和條件。
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8“ NiCr元素800℃
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3”石墨1300℃
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6”西伯克大衣1400℃
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2”石墨1200℃
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日本thermocera陶瓷頂加熱器使用
?真空薄膜形成（CVD，濺射，ALD，PLD，MBE等）
?薄膜應(yīng)力/熱分析
wafer晶圓退火的加熱臺
?其他
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使用的發(fā)熱體：根據(jù)使用環(huán)境，可以從以下10種電線中選擇
NiCr加熱器Max1000℃?Inconel
加熱器Max1000℃
?鎢加熱器Max1800℃
?鉬加熱器Max1800℃
?鹵素燈加熱器Max900℃
?石墨加熱器Max2,200℃（真空）
?C / C復(fù)合加熱器Max2,200℃（真空） ）
?各種涂層加熱器（PG，PBN，SiC涂層，玻璃碳）*醉高工作溫度因工作條件而異。
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日本thermocera陶瓷頂加熱器頂板材料
nitride氮化鋁
?鉻鎳鐵合金
?不銹鋼（SUS304，SUS316）
?石英
?鉬
?BN
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日本thermocera陶瓷頂加熱器醉高工作溫度（元件溫度）
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主機連接方式
?ICF法蘭
?ISO（KF，LF）法蘭
?JIS（VG，VF）法蘭
?M6雙頭螺栓固定
?固定支架等（*每次開會）
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熱電偶（可添加用于車身控制和過熱檢測）
?K型
?R，C型
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日本thermocera陶瓷頂加熱器參考數(shù)據(jù)[1英寸大1600℃陶瓷頂部加熱器]溫升測試（*頁面頂部右圖）
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參考數(shù)據(jù)[6英寸大1200℃陶瓷頂部加熱器（CCC元件）]面內(nèi)溫度分布測量
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日本thermocera陶瓷頂加熱器醉高1800℃
