日本thermocera小型立式實(shí)驗(yàn)堆
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產(chǎn)品名稱:
日本thermocera小型立式實(shí)驗(yàn)堆
產(chǎn)品型號(hào):
TVF-110
產(chǎn)品展商:
其它品牌
產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹
日本thermocera小型立式實(shí)驗(yàn)堆手動(dòng)提升立式實(shí)驗(yàn)爐，適用于小至3英寸晶圓的小基板cost低成本醉低要求的配置（手動(dòng)控制）適用于管式爐，擴(kuò)散爐，熱CVD。主要用途小樣本基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)在大學(xué)/公司實(shí)驗(yàn)室中的使用半導(dǎo)體，太陽能電池，燃料電池，電子基板等的熱處理基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)：用于氧化擴(kuò)散爐，LPCVD等的簡(jiǎn)單熱處理實(shí)驗(yàn)。
日本thermocera小型立式實(shí)驗(yàn)堆 的詳細(xì)介紹
日本thermocera小型立式實(shí)驗(yàn)堆
手動(dòng)提升立式實(shí)驗(yàn)爐，適用于小至3英寸晶圓的小基板
cost低成本醉低要求的配置（手動(dòng)控制）適用于管式爐，擴(kuò)散爐，熱CVD。
主日本thermocera小型立式實(shí)驗(yàn)堆要用途
小樣本基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)在大學(xué)/公司實(shí)驗(yàn)室中的使用
半導(dǎo)體，太陽能電池，燃料電池，電子基板等的熱處理
基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)：用于氧化擴(kuò)散爐，LPCVD等的簡(jiǎn)單熱處理實(shí)驗(yàn)。
日本thermocera小型立式實(shí)驗(yàn)堆特性
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用戶友好，易于手動(dòng)操作
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簡(jiǎn)單的配置非常適合基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)應(yīng)用
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我們可以提供低成本和醉低要求規(guī)格的設(shè)備。
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可以根據(jù)要求添加功能，我們將每次定制。
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*作為標(biāo)準(zhǔn)配置，只有爐體（包括基座和垂直升降機(jī)構(gòu)）和溫度控制單元可用。
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*不包括氣體引入/排出系統(tǒng)，氣體壓力控制，冷卻水控制等。我們將根據(jù)要求添加它。
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日本thermocera小型立式實(shí)驗(yàn)堆主要規(guī)格
[電爐部分]
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醉高工作溫度
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醉高1200℃（*加熱器溫度，正常醉高1100℃）醉高950℃（板溫）
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加熱器
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地暖1區(qū)1.5KW
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爐
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陶瓷成型品Φ290x 300L（分體式）
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案件
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鋁殼開合式
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熱電偶
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用于控制，過熱檢測(cè)：K型護(hù)套熱電偶（2對(duì)）
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溫度測(cè)量用熱電偶
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Φ0.65mmK線型帶絕緣管1500L
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溫度控制
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PID溫度控制器可控硅控制
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[爐芯管/石英夾具部分] 日本thermocera小型立式實(shí)驗(yàn)堆
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芯管
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Φ100xΦ95x 470L毫米
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緩沖
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234H xΦ86屏蔽x 2層
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感受器
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Φ86x t5毫米（帶上下桿）x 2至3步
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熱電偶保護(hù)管
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Φ8xΦ6x 660L毫米
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[基座/底座法蘭向上/向下]
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驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)
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手動(dòng)型（旋轉(zhuǎn)手柄）日本thermocera小型立式實(shí)驗(yàn)堆
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中風(fēng)
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Max300mm（基座）Max500mm（基礎(chǔ)法蘭）帶限位器，帶有任意垂直限位器
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日本thermocera小型立式實(shí)驗(yàn)堆
