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六氟丁二烯氣體環(huán)保高效的半導(dǎo)體制造特種氣體微量氟化氫該如何檢測(cè)|埃登威自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司

六氟丁二烯氣體環(huán)保高效的半導(dǎo)體制造特種氣體微量氟化氫該如何檢測(cè)


六氟丁二烯作為一種在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域備受青睞的特種氣體，尤其在干法蝕刻工藝中展現(xiàn)出了**的性能。其高刻蝕速率、均勻的蝕刻效果以及出色的刻蝕選擇比，使其成為該工藝中的佼佼者。此外，與其他氟化物相比，六氟丁二烯的全球變暖潛能值（GWP）極低，幾乎可以忽略不計(jì)，這使其在環(huán)保方面具有顯著優(yōu)勢(shì)。在半導(dǎo)體制造的多個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)，如晶圓刻蝕、金屬蝕刻以及氧化物蝕刻等，六氟丁二烯均得到了廣泛應(yīng)用，展現(xiàn)了其作為環(huán)保高效特種氣體的獨(dú)特價(jià)值。

測(cè)量六氟丁二烯氣體的微量氟化氫氣體該如何測(cè)量呢?這里我們給大家介紹一款A(yù)DEV激光HF氣體分析儀.

AtLAS 激光氣體分析儀六氟丁二烯氣體環(huán)保高效的半導(dǎo)體制造特種氣體微量氟化氫該如何檢測(cè)

AtLAS 激光氣體分析儀基于可調(diào)諧激光吸收光譜技術(shù)（TDLAS）原理進(jìn)行測(cè)量，獲取待測(cè)氣體特征吸收的光譜譜線。半導(dǎo)體激光器發(fā)射出特定波長(zhǎng)的激光束（僅能被被測(cè)氣體吸收），穿過(guò)被測(cè)氣體時(shí)，激光強(qiáng)度的衰減與被測(cè)氣體的濃度成一定的凼數(shù)關(guān)系，從而進(jìn)行的定量分析。

AtLAS 激光氣體分析儀采用 19 英寸標(biāo)準(zhǔn)機(jī)箱，將微控制器與數(shù)字化處理技術(shù)相結(jié)合，具有完整的自我診斷功能。

 

技術(shù)原理：六氟丁二烯氣體環(huán)保高效的半導(dǎo)體制造特種氣體微量氟化氫該如何檢測(cè)

 

利用電流和溫度**調(diào)制激光器（可調(diào)諧）波長(zhǎng)， 可以掃描被測(cè)氣體的特

產(chǎn)品特點(diǎn)：

 

 

定吸收峰｛無(wú)背景氣體吸收）， 得到該氣體吸收的二次諧波，利用二次諧波及該

?

可靠性和穩(wěn)定性好；

氣體的展寬信息，可計(jì)算出該氣體的濃度。

?

采用“單線光譜”技術(shù)，測(cè)量不受背景氣體交叉干擾；

 

?

TDLAS 技術(shù)通過(guò)激光波長(zhǎng)掃描技術(shù)修正了粉塵和視窗污染對(duì)測(cè)量的

 

 

影響；

 

?

完善的自診斷功能；

 

?

視窗表面覆蓋一塊鋼化玱璃，增強(qiáng)觸摸屏的撞擊保護(hù)；

 

?

采用 7 寸彩色觸摸屏，顯示直觀，操作方便。

應(yīng)用領(lǐng)域：

化工、焦化、制藥、冶金、環(huán)保、食品等發(fā)酵過(guò)程監(jiān)測(cè)，生物反應(yīng)器，堆肥處理，自動(dòng)惰封系統(tǒng)，離心機(jī)，沼氣/填埋氣體中CH4 濃度監(jiān)測(cè)。


技術(shù)指標(biāo)：

 

 

 

測(cè)量范圍

0～10/100/1000/10000ppm，0-100%

 

線性誤差

±2%FS

 

六氟丁二烯氣體環(huán)保高效的半導(dǎo)體制造特種氣體微量氟化氫該如何檢測(cè) 

重復(fù)性

±1%FS

穩(wěn)定性

±1%FS/半年

響應(yīng)時(shí)間

T90 小于 10s

校準(zhǔn)周期

1 年（建議）

顯示器

7 寸彩色觸摸屏

氣路接口

G1/4＂-Φ6 快擰接頭（可以定制）

接線方式

接線端子

 

 

傳感器壽命

大于 2 年（正常使用）

儀器壽命

大于 5 年（正常使用）

供電電源

85～264VAC，50/60Hz

 

 

儀器功耗

＜20VA

環(huán)境溫度

-10～+50℃

環(huán)境濕度

小于 90%RH

進(jìn)氣壓力

常壓±10%（出氣口應(yīng)為大氣壓）

進(jìn)氣流量

1～3L/min

通訊

RS485（標(biāo)配）/RS232（選配）

Modbus RTU 協(xié)議

 

 

 

 

數(shù)量：1 組

模擬信號(hào)

輸出模式：4-20mA/ 0-20mA，支持軟

件切換

 

 

負(fù)載：小于 500Ω

開(kāi)關(guān)量信號(hào)

報(bào)警點(diǎn)：1 個(gè)

繼電器觸點(diǎn)容量：24VDC，0.2A

 

 

 

更多六氟丁二烯氣體環(huán)保高效的半導(dǎo)體制造特種氣體微量氟化氫該如何檢測(cè)信息請(qǐng)直接致電埃登威上海公司18939876302

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