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CQC氣體分析系統(tǒng)與Tigeroptics Halo 3 H2O 水分儀深度解析|埃登威自動化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司

CQC氣體分析系統(tǒng)與Tigeroptics Halo 3 H2O 水分儀深度解析

一、Tigeroptics Halo 3 H2O 水分儀概覽

Tigeroptics Halo 3 H2O 水分儀，作為一款專為高純氣體設(shè)計(jì)的超高精度微量水分分析儀，憑借其**的性能和便捷的操作性，在全球范圍內(nèi)贏得了廣泛的認(rèn)可。該儀器采用先進(jìn)的CRDS（光腔振蕩衰減光譜）技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了對氣體中微量水分的精準(zhǔn)測量，無需傳統(tǒng)校驗(yàn)氣體，大大降低了運(yùn)營成本，同時(shí)確保了測量的準(zhǔn)確性和可靠性。CQC氣體分析系統(tǒng)與Tigeroptics Halo 3 H2O 水分儀深度解析


  • 型號亮點(diǎn)：Halo 3 不僅以其1.2ppb（在氮?dú)庵校┑某叻直媛拭摲f而出，還具備±4%或1/2 LDL的**測量精度，滿足了各類高精度分析需求。
  • 靈活應(yīng)用：支持ppm、ppb、ppt等多種測量范圍，廣泛適用于半導(dǎo)體、光纖、微電子、氣體、科研、教育及化工等多個(gè)領(lǐng)域。
  • 便捷設(shè)計(jì)：緊湊的結(jié)構(gòu)（8.75mm8.5mm23.6mm）與12.7kg的輕量化設(shè)計(jì)，使得Halo 3 H2O易于安裝與維護(hù)。同時(shí)，90-240VAC的寬電源電壓輸入，進(jìn)一步增強(qiáng)了其使用的靈活性。

二、技術(shù)優(yōu)勢與應(yīng)用特性CQC氣體分析系統(tǒng)與Tigeroptics Halo 3 H2O 水分儀深度解析

  • 超寬動態(tài)范圍：Halo 3 H2O 水分儀能夠覆蓋超過4個(gè)數(shù)量級的測量范圍，從極低的微量水分到較高的濃度均能準(zhǔn)確捕捉，滿足多樣化的分析需求。
  • 低運(yùn)營成本與維護(hù)：得益于其免校驗(yàn)氣體的設(shè)計(jì)，減少了標(biāo)定成本和時(shí)間。同時(shí)，無消耗性部件的設(shè)計(jì)確保了長期運(yùn)行的穩(wěn)定性和低維護(hù)成本。
  • 高靈敏度與精度：CRDS技術(shù)的應(yīng)用，使得Halo 3 H2O 能夠在不受激光強(qiáng)度、噪聲或外部環(huán)境影響的情況下，實(shí)現(xiàn)超高靈敏度和精度的測量。
  • 快速響應(yīng)與實(shí)時(shí)分析：在線實(shí)時(shí)分析功能，確保了對氣體中水分變化的即時(shí)捕捉，為生產(chǎn)過程提供了有力的數(shù)據(jù)支持。

三、CQC氣體分析系統(tǒng)的核心作用與精密構(gòu)成

核心作用：CQC氣體分析系統(tǒng)在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。通過集成Halo 3 H2O 水分儀等高精度分析儀器，CQC系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了對高純氣體中各類雜質(zhì)的**監(jiān)控，確保了半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的氣體質(zhì)量，進(jìn)而保障了產(chǎn)品的**品質(zhì)和生產(chǎn)效率。

精密構(gòu)成：CQC氣體分析系統(tǒng)與Tigeroptics Halo 3 H2O 水分儀深度解析

  • 高精度分析儀器：除了Halo 3 H2O 水分儀外，CQC系統(tǒng)還配備了高性能的氧分析儀、氣相色譜儀等，以實(shí)現(xiàn)對氣體中不同雜質(zhì)的精準(zhǔn)檢測。
  • 完善硬件設(shè)施：儀器機(jī)柜、精密管件、閥件、氫氣泄漏偵測器、零點(diǎn)純化器及高效過濾器等硬件設(shè)施的配備，確保了系統(tǒng)的順暢運(yùn)行和整體性能的穩(wěn)定。
  • 集成化設(shè)計(jì)：樣氣、標(biāo)氣、儀表氣及輔助氣等氣路接口均集成于儀器柜內(nèi)，不僅簡化了操作流程，還提高了工作效率和維護(hù)便捷性。

綜上所述，CQC氣體分析系統(tǒng)與Tigeroptics Halo 3 H2O 水分儀的**結(jié)合，為半導(dǎo)體制造等高精度工業(yè)領(lǐng)域提供了強(qiáng)有力的技術(shù)支持和保障.

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