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BCB高溫?zé)o氧烘箱與ADEV氧氣分析儀|埃登威自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司

BCB高溫?zé)o氧烘箱與氧氣分析儀

在當(dāng)今的半導(dǎo)體加工領(lǐng)域，烘箱工藝的品質(zhì)要求日益嚴(yán)格。隨著國產(chǎn)半導(dǎo)體行業(yè)的蓬勃發(fā)展，對(duì)于烘箱工藝的氧濃度監(jiān)控變得尤為重要。在這樣的大背景下，BCB高溫?zé)o氧烘箱與相應(yīng)的氧氣分析儀成為關(guān)注的焦點(diǎn)。

一、無氧烘箱在半導(dǎo)體加工中的應(yīng)用

BCB高溫?zé)o氧烘箱主要用于半導(dǎo)體材料的固化、電子元器件的高溫潔凈環(huán)境干燥老化試驗(yàn)等。這類烘箱的特點(diǎn)在于其高溫、無氧的環(huán)境，能夠滿足現(xiàn)代半導(dǎo)體加工對(duì)于材料處理的高標(biāo)準(zhǔn)要求。BCB高溫?zé)o氧烘箱與氧氣分析儀

為了維持這一無氧環(huán)境，烘箱內(nèi)部充入惰性氣體（如氮?dú)饣蚨趸迹耘懦鯕?。然而，僅僅依靠充入惰性氣體還不夠，還需要對(duì)氧濃度進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控。

二、氧氣分析儀在無氧烘箱中的應(yīng)用

為了確保無氧烘箱的工作效果和**性，需要配備高精度的氧氣分析儀。這種分析儀能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測烘箱內(nèi)的氧氣濃度，確保其始終維持在安 全范圍內(nèi)。

ADEV氧氣分析儀是專門為這類應(yīng)用設(shè)計(jì)的。它采用快速響應(yīng)的氧化鋯傳感器，可以測量從1ppm到25%的氧氣濃度。這種分析儀不僅精度高、響應(yīng)速度快，而且維護(hù)成本低，為無氧烘箱提供了可靠的氧氣濃度監(jiān)控解決方案。

三、氧氣分析儀的特點(diǎn)與優(yōu)勢BCB高溫?zé)o氧烘箱與氧氣分析儀

ADEV氧氣分析儀具備以下特點(diǎn)和優(yōu)勢：

  1. 測量范圍廣泛：可測量從1ppm到25%的氧氣濃度，滿足各種應(yīng)用需求。
  2. 可靠的氧化鋯傳感器技術(shù)：能夠在高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作，確保測量準(zhǔn)確性。
  3. 快速響應(yīng)：能夠迅速感知氧氣濃度的變化，及時(shí)作出反應(yīng)。
  4. 多樣化的安裝方式：支持導(dǎo)軌式安裝，方便集成到無氧烘箱中。
  5. 多種輸出方式：提供4-20mA信號(hào)輸出、RS-232通訊協(xié)議等多種輸出方式，方便與其他設(shè)備連接。
  6. 報(bào)警功能：具備3組繼電器報(bào)警，可自定義報(bào)警閾值，提高安 全性。
  7. 耐高溫設(shè)計(jì)：能夠在高達(dá)600℃的高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作，適應(yīng)無氧烘箱的惡劣環(huán)境。
  8. 維護(hù)簡便：由于其高精度和穩(wěn)定性，使得校準(zhǔn)頻率大大降低，從而節(jié)省了維護(hù)成本。
  9. 小巧緊湊：適合空間有限的安裝環(huán)境。BCB高溫?zé)o氧烘箱與氧氣分析儀
  10. 長壽命與低能耗：降低了運(yùn)營成本并有利于環(huán)保。
  11. 適用范圍廣：除了無氧烘箱外，還可應(yīng)用于手套箱吹掃和泄露檢測、3D金屬打印、波峰焊、氣體分離等多種場景。

總結(jié)：隨著國產(chǎn)半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，對(duì)于烘箱工藝的品質(zhì)要求也日益嚴(yán)格。BCB高溫?zé)o氧烘箱與相應(yīng)的氧氣分析儀成為實(shí)現(xiàn)高品質(zhì)烘箱工藝的關(guān)鍵。ADEV氧氣分析儀作為一種高精度、快速響應(yīng)的分析儀，能夠?yàn)闊o氧烘箱提供可靠的氧氣濃度監(jiān)控，確保烘箱工藝的**與穩(wěn)定。它的應(yīng)用將有助于提高國產(chǎn)半導(dǎo)體加工的品質(zhì)和可靠性，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)的持續(xù)發(fā)展。

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