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砷烷氣體AsH3與ADEV G9600微量氧分析儀的應(yīng)用|埃登威自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司

砷烷氣體AsH3與ADEV G9600微量氧分析儀的應(yīng)用

砷烷（AsH3）是一種無(wú)色、劇毒、可燃?xì)怏w，伴隨著大蒜的氣味。這種與空氣混合即可形成可燃混合氣的特性，使其在工業(yè)應(yīng)用中需要高度小心。雖然微溶于水和有機(jī)溶劑，但其易與高錳酸鉀、溴和次氯酸鈉等起反應(yīng)生成砷的化合物，增加了其處理與存儲(chǔ)的復(fù)雜性。砷烷在室溫下相對(duì)穩(wěn)定，但在230-240℃下開始分解。除了作為溶血性毒物和神經(jīng)毒物，砷烷在半導(dǎo)體工業(yè)中有重要應(yīng)用，如外延硅的"N"型摻雜、硅中"N"型擴(kuò)散、離子注入，以及用于生長(zhǎng)砷化鎵(GaAs)、磷砷化鎵(GaAsP)等。此外，它還被用于有機(jī)合成、**毒氣以及某些特殊實(shí)驗(yàn)、集成電路和太陽(yáng)能電池中。

為了確保工業(yè)生產(chǎn)和實(shí)驗(yàn)室研究的**，對(duì)砷烷氣體中的微量氧進(jìn)行**監(jiān)測(cè)至關(guān)重要。在這方面，ADEV的G9600微量氧分析儀成為了一個(gè)不可或缺的工具。砷烷氣體AsH3與ADEV G9600微量氧分析儀的應(yīng)用

G9600的技術(shù)參數(shù)和特點(diǎn)使其非常適合于砷烷氣體的微量氧監(jiān)測(cè)：

  1. 寬泛的測(cè)量范圍：從0ppm至10ppm至0~25%的自動(dòng)量程，能夠滿足各種應(yīng)用場(chǎng)景的需求。
  2. 高精度與快速響應(yīng)：±1%的準(zhǔn)確性和＜15s的響應(yīng)時(shí)間確保了實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。
  3. 輕巧與便攜：重量?jī)H為3.4kg的G9600采用了便攜式外觀設(shè)計(jì)，搭配可充電的長(zhǎng)壽命鋰電池，使其適用于各種工作環(huán)境。
  4. 強(qiáng)大的處理與分析能力：32位高速處理器和24位超高精度傳感器信號(hào)采樣技術(shù)確保了儀器的高性能表現(xiàn)。
  5. 用戶友好與多功能：液晶顯示屏、引導(dǎo)式軟件操作菜單以及支持中英文切換的功能，極大方便了用戶操作。此外，G9600還支持?jǐn)?shù)據(jù)下載定時(shí)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和RS485輸出等功能。砷烷氣體AsH3與ADEV G9600微量氧分析儀的應(yīng)用

為了滿足實(shí)際使用需求，G9600的標(biāo)準(zhǔn)配置包括主機(jī)、1/8英寸不銹鋼取樣管路、內(nèi)置流量計(jì)和電源適配器。同時(shí)，ADEV還為用戶提供兩年的備品備件清單，其中包括微量氧傳感器S8201，以確保長(zhǎng)期使用的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。砷烷氣體AsH3與ADEV G9600微量氧分析儀的應(yīng)用

結(jié)合砷烷氣體的廣泛應(yīng)用和ADEV G9600微量氧分析儀的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，我們可以看到這一組合在半導(dǎo)體制造、有機(jī)合成和其他相關(guān)領(lǐng)域中的巨大潛力。G9600的**測(cè)量能力、便攜性和強(qiáng)大的處理分析能力使其成為砷烷氣體監(jiān)測(cè)的理想選擇，為相關(guān)領(lǐng)域提供了有力的技術(shù)保障。

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