采用高純氣體分析檢測(cè)氣體中水含量的幾種方法氧化鋁電容法原理
氧化鋁電容法是高純氣體中微量水分析的其中一種方法。在潔凈環(huán)境下，溫度在15~28℃之間，濕度在40%~70%的條件下進(jìn)行測(cè)量。使用死體積小、內(nèi)徑小、管壁無吸附的不銹鋼管，并選用涂有一層薄金的氧化鋁薄膜作為電容器的電極。當(dāng)高純氣體中的水分透過金薄層被氧化鋁吸收時(shí)，電容器的阻抗會(huì)與水汽分壓成一定的比例。通過測(cè)量電容器的介電常數(shù)變化，可以計(jì)算出水分含量。
除了氧化鋁電容法，還有其他方法可以檢測(cè)高純氣體中的水分含量。例如，可以使用壓電法。通過涂有一種吸濕性物質(zhì)的石英晶體吸收不同質(zhì)量的水分時(shí)振動(dòng)頻率會(huì)有差異的特點(diǎn)，讓樣氣和標(biāo)準(zhǔn)干燥氣流經(jīng)該晶體，產(chǎn)生不同的振動(dòng)頻率差，計(jì)算兩頻率之差即可得到樣氣的濕度。這種方法屬于**測(cè)量法，穩(wěn)定、不漂移，適合在線氣體的連續(xù)測(cè)定。然而，在測(cè)試低濕度時(shí)響應(yīng)慢，受氣體流量影響，不能用于腐蝕氣體的測(cè)試。
另外，還可以使用光腔衰蕩光譜法來檢測(cè)水分含量。一束單波長激光通入光腔后，光束在腔鏡之間來回反射。當(dāng)切斷光源后，其能量就會(huì)隨時(shí)間而衰減，衰蕩速度與光腔自身的損耗和腔內(nèi)被測(cè)組分（介質(zhì)）的吸收有關(guān)。對(duì)于給定的光腔，其自身的損耗為常量。光能量衰減的速度與被測(cè)組分的含量有關(guān)。
在使用氧化鋁電容式濕度計(jì)時(shí)，需要注意以下幾點(diǎn)：首先，其測(cè)量范圍通常為-110℃~+20℃。當(dāng)被測(cè)露點(diǎn)較高時(shí)，會(huì)使得氧化鋁電容式濕度計(jì)產(chǎn)生較大的漂移。其次，應(yīng)注意溫度系數(shù)。由于其對(duì)水汽分壓產(chǎn)生響應(yīng)因此應(yīng)注意測(cè)量時(shí)氣體總壓的變化。*后，應(yīng)避免灰塵、油污和測(cè)量時(shí)氣體流量較大一般為3~5（L/min）。采用高純氣體分析檢測(cè)氣體中水含量的幾種方法氧化鋁電容法原理
氧化鋁電容式濕度計(jì)具有較寬的響應(yīng)范圍從1μL/L（ppmv）到80%RH，可以遠(yuǎn)程安裝和現(xiàn)場(chǎng)使用相對(duì)穩(wěn)定響應(yīng)較快、溫度系數(shù)較小、與流量變化無關(guān)等優(yōu)點(diǎn)。此外，對(duì)于水分有較高的選擇性可以在較寬的溫度和壓力范圍內(nèi)使用日常維護(hù)量較小體積也相對(duì)較小。然而，該方法是間接測(cè)量，在高溫操作或某些氣體會(huì)引起漂移的情況下需定期校準(zhǔn)以克服老化、滯后及污染等問題。
ADEV公司的便攜式露點(diǎn)儀DP4600就是采用了該方法的露點(diǎn)儀。
露點(diǎn)儀采用氧化鋁傳感器，能夠快速準(zhǔn)確地測(cè)量氣體的露點(diǎn)溫度，特別適合低露點(diǎn)測(cè)量。它具有抗結(jié)露、防止污染等特點(diǎn)，納米技術(shù)改變了材料的臨界特性，可以測(cè)量低至-110℃的露點(diǎn)。采用高純氣體分析檢測(cè)氣體中水含量的幾種方法氧化鋁電容法原理
露點(diǎn)儀應(yīng)用范圍
適用于石油、石化、天然氣、制藥、食品、半導(dǎo)體、工業(yè)氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣等領(lǐng)域
露點(diǎn)儀主要特點(diǎn)
★ 體積小，重量輕，易于攜帶，同時(shí)可用于臺(tái)式
★ 可編程數(shù)據(jù)記錄，可導(dǎo)入Excel數(shù)據(jù)
★ 露點(diǎn)溫度曲線實(shí)時(shí)跟蹤顯示數(shù)據(jù)變化情況
★ 通用充電及數(shù)據(jù)接口，鋰電池供電，通用電源適配器
★ 可選仿真軟件在PC機(jī)上模擬儀器的操作采用高純氣體分析檢測(cè)氣體中水含量的幾種方法氧化鋁電容法原理
★ 不同溫度、壓力和濕度參數(shù)的自動(dòng)換算
★ 自帶流量顯示功能，大液晶顯示屏，操作簡單
★ 免維護(hù)、壽命長：無任何消耗品，方便用戶日常維護(hù)，壽命可達(dá)10年
★ 量程寬，可以選擇-110℃到20℃多種量程組合，精度達(dá)到±2℃
★ 提供單點(diǎn)校準(zhǔn)和多點(diǎn)校準(zhǔn)，曲線校準(zhǔn)功能
★ 超大容量存儲(chǔ)空間，可達(dá)10000條數(shù)據(jù)記錄，可手動(dòng)或自動(dòng)記錄，記錄間隔可任意調(diào)節(jié)
★ 多參數(shù)顯示：℃（dp）、（dp）、ppmV、ppmW、μB 水蒸氣壓力、克/每立方米、LBS等.BS等
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