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半導體單晶爐惰性氣體保護中使用美國GE Oxy.IQ微量氧分析儀監(jiān)控|埃登威自動化系統(tǒng)設備（上海）有限公司

半導體單晶爐惰性氣體保護中使用美國GE Oxy.IQ微量氧分析儀監(jiān)控

半導體工藝設備為半導體大規(guī)模制造提供制造基礎。摩爾定律，給電子業(yè)描繪的前景，必將是未來半導體器件的集成化、微型化程度更高，功能更強大。這里先介紹半導體工藝的頭道工序——單晶體拉胚的單晶爐。


單晶爐

單晶爐，全自動直拉單晶生長爐，是一種在惰性氣體（氮氣、氦氣為主）環(huán)境中，用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生長無錯位單晶的設備。主營:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃氣熱值儀,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析儀

單晶硅爐型號有兩種命名方式，一種為投料量，一種為爐室直徑。比如 120、150 等型號是由投料量決定， 85 爐則是指主爐筒的直徑大小。半導體單晶爐惰性氣體保護中使用美國GE Oxy.IQ微量氧分析儀監(jiān)控

單晶硅爐的主體構成由主機、加熱電源和計算機控制系統(tǒng)三大部分組成。
氬氣系統(tǒng)由不銹鋼管、電磁截止閥、質量流量控制器、減壓器、手動截止閥和柔性波紋管道構成，在爐子的運行過程中向爐子內提供氬氣。爐子上有兩個氬氣入口（副爐室頂部和爐蓋喉部）由質量流量控制器控制，另一個氬氣入口（隔離閥座后部）是快充口，不由質量流量控制器控制。氬氣由副爐室頂部的分流環(huán)分配以減少副爐室內的紊流。主營:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃氣熱值儀,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析儀

1 質量流量控制器

質量流量控制器為氬氣進入主爐體提供精密的流量控制。

單晶硅的制備工藝不同，所得到產(chǎn)品的純度和性能差異很大，因此其下游應用領域也有所區(qū)別。單晶硅在日常生活中是電子計算機、自動控制系統(tǒng)等現(xiàn)代科學技術中不可缺少的基本材料。電視、電腦、手機、汽車，處處都離不開單晶硅材料，單晶硅作為科技應用普及材料之一，已經(jīng)滲透到人們生活中的各個角落。半導體單晶爐惰性氣體保護中使用美國GE Oxy.IQ微量氧分析儀監(jiān)控


美國GE OXY-IQ氧分析儀是GE Panametrics O2X1氧變送器的更新型號，GE Panametrics oxy-iq氧變送器是一種高度可靠和具有成本效益的雙回路氧分析儀，線性化的4至20 mA輸出。可以測量ppm的范圍內的氧氣和百分比范圍的氧。所有的范圍是用戶可選擇的。這個緊湊的發(fā)射機采用先進的傳感器技術，準確地測量各種氣體中的O2，即使在危險的環(huán)境中（特殊環(huán)境請?zhí)崆案嬷?/span>。主營:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃氣熱值儀,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析儀

GE Panametrics的oxy.iq是由一個微處理器，允許用戶選擇的控制范圍，調整輸出進行校準。編程是使用鍵盤和顯示器很容易做到。緊湊的oxy.iq設計容易適合任何安裝位置可以在取樣點安裝正確。

產(chǎn)品特點：

l 本質**可選

l 燃料電池氧傳感器技術

l 一個可選擇的PPM和百分之比

l 友好和直觀的用戶界面與診斷半導體單晶爐惰性氣體保護中使用美國GE Oxy.IQ微量氧分析儀監(jiān)控

l 流程1/ 8“NPT連接在入口和出口（原裝）或者KF40接口定制主營:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃氣熱值儀,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析儀

l 全數(shù)字技術的可靠運行

l 低維護，經(jīng)濟和緊湊型

l 傳感器失效輸出誤差

l 氧傳感器壽命指標

l 誤差指示

技術參數(shù)：

l 量程：氧氣測量范圍0～1.0000%(10000PPM) 、0-25%

l 精度：±0.01%

l 分辨率：±0.0001%

l 線性：±1%FS主營:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃氣熱值儀,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析儀

l 模擬輸出：4～20mA
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